采用新型微波反应腔,有效沉积面积大而均匀;掀盖式腔体开合,便利操作及腔体清洁,生产效率高,更加适用于批量化工业产品的制备;该类型设备性能稳定可靠,具有高度的稳定性和重复性,专为高品质金刚石产品制备而设计;为满足客户的不同使用要求,提供各项定制化服务。
定制类型
1.偏压型 MPCVD设备,在标准型设备的基础上(无任何功能删减),可根据客户要求提供不同偏压范围的定制型MPCVD设备。
2.微波频率2450Mhz,最大微波输入功率15kw型MPCVD设备,可根据客户要求,提供高功率MPCVD设备。
3.客户提出的其他定制需求。