采用新型微波反应腔，有效沉积面积大而均匀；掀盖式腔体开合，便利操作及腔体清洁，生产效率高，更加适用于批量化工业产品的制备；该类型设备性能稳定可靠，具有高度的稳定性和重复性，专为高品质金刚石产品制备而设计。
产品特性
1.一体式不锈钢腔体，等离子体上方无任何环形缝隙。
2.最大微波输入功率10kw（无时长限制），微波反射功率＜20w。
3.独特的腔体真空密封，设备极限真空＜0.5pa，腔体压升率＜3pa/h（保压前2小时）。
4.有效沉积直径范围80-100mm。
5.采用独特的沉积台温控结构，产品制备周期内无需调节腔压、微波输入功率，即可实现金刚石控温，有效的保证了产品在不同生产周期内的质量一致性。
6.高度自动化，一键启动完成全周期生产。
