MD-0360 10KW MPCVD设备

MD-0360 10KW MPCVD设备

采用新型微波反应腔,有效沉积面积大而均匀;掀盖式腔体开合,便利操作及腔体清洁,生产效率高,更加适用于批量化工业产品的制备;该类型设备性能稳定可靠,具有高度的稳定性和重复性,专为高品质金刚石产品制备而设计。
描述
  • 采用新型微波反应腔,有效沉积面积大而均匀;掀盖式腔体开合,便利操作及腔体清洁,生产效率高,更加适用于批量化工业产品的制备;该类型设备性能稳定可靠,具有高度的稳定性和重复性,专为高品质金刚石产品制备而设计。

  • 产品特性

  • 1.一体式不锈钢腔体,等离子体上方无任何环形缝隙。

  • 2.最大微波输入功率10kw(无时长限制),微波反射功率<20w。

  • 3.独特的腔体真空密封,设备极限真空<0.5pa,腔体压升率<3pa/h(保压前2小时)。

  • 4.有效沉积直径范围80-100mm。

  • 5.采用独特的沉积台温控结构,产品制备周期内无需调节腔压、微波输入功率,即可实现金刚石控温,有效的保证了产品在不同生产周期内的质量一致性。

  • 6.高度自动化,一键启动完成全周期生产。


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