MD-0390 915MHz MPCVD设备

产品特性

1.不锈钢316L真空腔体。

2.最大微波输入功率72kw（无时长限制），微波反射功率＜20w。

3.独特的腔体真空密封，设备极限真空＜1pa（机械泵）<5x10^-4 Pa（加分子泵），腔体压升率＜1pa/h（保压前2小时）。

4.有效沉积直径范围6-10寸。

5.采用独特的沉积台温控结构，产品制备周期内无需调节腔压、微波输入功率，即可实现金刚石控温，有效的保证了产品在不同生产周期内的质量一致性。

6.高度自动化，一键启动完成全周期生产。